Книга Основы технологии электронной компонентной базы. Методы контроля характеристик материалов в технологических процессах получения тонкопленочных материалов
Дмитрий Крутогин
- Автор: Дмитрий Крутогин
- Жанр: Материаловедение, Практикумы
- Год издания: 2013
- Издательство: МИСиС
В лабораторном практикуме излагаются теоретические основы технологических процессов роста полупроводниковых материалов и методы контроля их электрофизических и структурных параметров. Материал практикума соответствует учебному плану курса «Основы технологии электронной компонентной базы».